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技術參數

RF電源：晶體管射頻，帶自動適配器
整機規格：700×650×1760 mm?
整機重量：約500 Kg
清洗艙規格：550×520×480 mm（不銹鋼）
清洗艙有效容積：137 L
放置料盒數量：24個（料盒尺寸150×80×160 mm）? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?
輸入電源：380 V（三相）／50 Hz
整機輸入功率：2000 W （含真空泵）
射頻輸出：0～1000 W（連續可調）? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?
射頻頻率：13.56 MHz? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?
極限真空度：< 80 Pa
顯示控制：全彩觸摸屏PLC控制系統
清洗時間范圍：可程序設置0～120 min
質量流量計：1路2 slm
清洗效果：水滴角≤30°
玻璃觀察窗：觀察反應艙內輝光狀態
常用工作氣體：空氣、氬氣、氮氣或混合氣體等?

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